應(yīng)用要求

配氣裝置制造商需要緊湊的即插即用系統(tǒng)，該系統(tǒng)只需一個(gè)進(jìn)入和一個(gè)輸出就可以輕松操作氣流。此外，還需要過濾器，防止?fàn)t灰進(jìn)入測(cè)試裝置。

重要議題

• 帶流量控制的壓力管理
• 即插即用系統(tǒng)

工藝方案

Bronkhorst流量壓力解決方案包含壓力計(jì)（Bronkhorst EL-PRESS PM51 壓力模塊），它是用于控制上游的流量控制器的傳感器。當(dāng)配氣裝置在測(cè)試過程中發(fā)生故障時(shí)，壓力計(jì)檢測(cè)到低于初始10bar的壓力，然后迫使流量控制器向系統(tǒng)輸送氣流。此時(shí)，當(dāng)該流量是非零值時(shí)，檢測(cè)到確實(shí)泄漏。配氣裝置制造商稱該系統(tǒng)具有可靠的壓力傳感，結(jié)實(shí)耐用。

對(duì)于該泄漏測(cè)試應(yīng)用，壓力計(jì)（例如EL-PRESS系列）和流量控制器（例如EL-FLOW系列）的組合比傳統(tǒng)的壓力控制器和流量計(jì)組合要好。傳統(tǒng)的組合應(yīng)用下，當(dāng)壓力控制器希望很快達(dá)到其設(shè)定值時(shí)，存在可能會(huì)在初始階段丟失信號(hào)的風(fēng)險(xiǎn)。Bronkhorst裝置的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定控制流量，永遠(yuǎn)不會(huì)太高。

該裝置包含15 μm過濾器，以防止?fàn)t灰顆粒進(jìn)入流量控制器，對(duì)裝置造成損害。如果過濾器堵塞，可以通過反向吹掃來清洗，因此無需拆卸裝置來清洗過濾器。一般情況下，該裝置帶數(shù)字控制面板，用于控制和顯示設(shè)置?？刂泼姘逋ㄟ^RS-232系列端口使用Bronkhorst軟件連接到計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。如需修改，可納入電位計(jì)來手動(dòng)調(diào)整設(shè)置，其包含模數(shù)轉(zhuǎn)換器。