體積流量與質(zhì)量流量

Bronkhorst氣體熱式質(zhì)量流量計(jì)/控制器可以按如下單位范圍來分： l_n/min, sccm 或者m³_n/h。這些單位看起來比較類似于體積單位，但是實(shí)際上是質(zhì)量流量的表達(dá)方式。

假設(shè)你有一個(gè)1升的氣缸，該氣缸基本上相當(dāng)于一個(gè)沒有重量的可移動(dòng)活塞。該氣缸中含有1升標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)的空氣，大約1bar。這一空氣在0°C時(shí)候的重量是1.293克，這就是該空氣的質(zhì)量。當(dāng)我們把活塞移動(dòng)到氣缸下半部分的時(shí)候，該空氣的體積就變成了之前的1/2升了，壓力大約在2Bar左右，但是此時(shí)，該空氣的質(zhì)量并沒沒有改變，依舊是1.293克；沒有任何的東西加入進(jìn)去，也沒有流出任何的東西。

接下來的這個(gè)例子，質(zhì)量流量實(shí)際上應(yīng)該用重量單位來表示，比如g/h,mg/s等。然而，大多數(shù)的用戶都會(huì)以為是體積單位。在這種情況下，只要所提供的條件與質(zhì)量轉(zhuǎn)換成體積的前提是一致，那么是不會(huì)受到任何的影響。根據(jù)歐洲的定義，溫度0°C和1.013bar的壓力都為”普通”基本參數(shù)，用基本字母”N” 來表示體積單位 (ml_n/min, m³_n/h)。其次，溫度 20°C和1.013bar壓力被當(dāng)作”標(biāo)準(zhǔn)” 基本參數(shù)，用基本字母”S”來表示體積單位 (ml_s/min, m³_s/h)。請注意這其中的區(qū)別，因?yàn)樵摬煌赡軐?dǎo)致7%的錯(cuò)誤。

根據(jù)”美國”定義在SCCM、SLM或者SCFH前綴中的字母”S”代表著”標(biāo)準(zhǔn)”參數(shù)：絕對壓力101.325kPa（14.6959psia)和溫度0°C (32°F)。

體積測量儀表，比如浮子流量計(jì)或者渦輪流量計(jì)，是不可能自己區(qū)分出溫度或者壓力的變化的；而質(zhì)量流量測量也將需要通過額外的傳感器來測量這些參數(shù)，除此之外，還需要通過一臺流量計(jì)算機(jī)來彌補(bǔ)這些工藝條件參數(shù)的變化。但是熱式質(zhì)量流量計(jì)卻幾乎不受溫度或者壓力變化的影響。