在FOUP卸載模塊應(yīng)用質(zhì)量流量控制器進(jìn)行氮?dú)獯祾?/h1>

前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）卸載模塊的功能是在等待下一個(gè)工藝步驟的同時(shí)暫存晶圓。由于制造環(huán)境的清潔度是影響產(chǎn)品成品率的主要因素之一，因此晶圓搬運(yùn)和存儲(chǔ)設(shè)備的性能是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工序。優(yōu)化的晶圓處理/存儲(chǔ)工藝應(yīng)盡量減少可能導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓金屬氧化或喪失導(dǎo)電性的水分、顆粒和氧氣。   此應(yīng)用案例主角是一家半導(dǎo)體公司。他們使用先進(jìn)技術(shù)在硅晶圓片上制造芯片，應(yīng)用于不同的應(yīng)用和設(shè)備，如電信、游戲、工業(yè)等。工廠遍布各地。目前技術(shù)要求在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)氣體進(jìn)行更好的流量控制，以提高產(chǎn)量并降低這些氣體的使用成本。Bronkhorst與半導(dǎo)體工業(yè)卸載模塊和FOUP相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商合作，他們的設(shè)備是集成到每個(gè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的主要部件。卸載模塊是用于將硅片裝入半導(dǎo)體加工工具中的，清潔度是保證硅晶圓片生產(chǎn)高產(chǎn)量的一個(gè)重要因素。我們客戶的卸載模塊在亞洲各大半導(dǎo)體制造廠使用。

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應(yīng)用要求 主要考慮因素：質(zhì)量流量控制器的高精度和高重復(fù)性。

重要議題 質(zhì)量流量控制器的精度和重復(fù)性 通過(guò)優(yōu)化產(chǎn)品以滿足客戶的特定需求來(lái)降低成本 通過(guò)設(shè)備設(shè)計(jì)定制主體來(lái)減少設(shè)備的占地面積 通過(guò)控制和可追溯的制造方法來(lái)提高清潔度

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工藝方案 質(zhì)量流量控制器在該過(guò)程中的主要功能是監(jiān)測(cè)和控制超高純度(UHP) N2 (A)或清潔干燥空氣吹掃(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中清潔干燥空氣吹掃（B）更為常用，而新工廠使用UHP N2吹掃(A)。 為了在不增加不必要成本的情況下滿足FOUP卸載模塊的特定設(shè)計(jì)要求，我們當(dāng)?shù)劁N售與服務(wù)團(tuán)隊(duì)協(xié)助開(kāi)發(fā)符合品質(zhì)與高精準(zhǔn)要求的產(chǎn)品，以滿足FOUP設(shè)備商與半導(dǎo)體制造商的高標(biāo)準(zhǔn)。憑借40多年在質(zhì)量流量計(jì)和控制器的經(jīng)驗(yàn)，我們能夠用一些標(biāo)準(zhǔn)系列產(chǎn)品（基于CTA原理的MASS-STREAM流量控制器或是基于毛細(xì)管旁路原理的EL-FLOW）為客戶提供定制化的解決方案。產(chǎn)品為獨(dú)立單元配置。 Bronkhorst亞太區(qū)OEM銷售經(jīng)理Sia Wilson先生這樣說(shuō)：我們很高興有機(jī)會(huì)與客戶討論并密切合作開(kāi)發(fā)所需的產(chǎn)品。在此過(guò)程中，雙方都了解了技術(shù)和要求，最終使我們能夠?yàn)樵搼?yīng)用創(chuàng)造出具有成本效益的高品質(zhì)和功能良好的 產(chǎn)品。這是Bronkhorst與我們客戶之間真正的合作伙伴關(guān)系。

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推薦產(chǎn)品

EL-FLOW SELECT

MASS-STREAM