玻璃涂層工藝與流量測(cè)控

2021年8月19日 Bronkhorst

玻璃涂層在于修改其光學(xué)特性，提升其太陽(yáng)能傳遞特征或者改變其外觀。無(wú)論是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂層工藝要求嚴(yán)格。

為達(dá)到薄膜涂層優(yōu)化品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，工藝氣系統(tǒng)必須能夠提供高品質(zhì)的涂層一致性。當(dāng)大規(guī)模的涂層設(shè)備在使用，維護(hù)的簡(jiǎn)單化也是一個(gè)重要的關(guān)注點(diǎn)。布瑯鈳鍶特公司完全理解玻璃涂層工業(yè)的需求，因此開(kāi)發(fā)了成熟的方案用以滿足大規(guī)模玻璃涂層應(yīng)用的高端要求。

應(yīng)用要求

高品質(zhì)的涂層一致性、高效、低成本是玻璃涂層行業(yè)的其中幾項(xiàng)要求。通過(guò)控制具體工藝氣體，薄膜的一致性得以改善。另外，如果控制是通過(guò)可以獲得穩(wěn)定流形的儀表完成的，重復(fù)性、快速響應(yīng)以及優(yōu)化性能就可以達(dá)到。

為了降低成本，儀表應(yīng)當(dāng)可靠、耐用，24小時(shí)/7天不間斷工作。

重要議題

重復(fù)性
響應(yīng)時(shí)間
可靠性
緊湊型，節(jié)省空間

工藝方案

通過(guò)精準(zhǔn)氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積（PVD）工藝，其在高壓加速下將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過(guò)程。它的作用是可以使某些有特殊性能（強(qiáng)度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使得母體具有更好的性能。

噴濺的原子被推進(jìn)到母體上，在其表面形成薄膜涂層。

這個(gè)工藝要求使用惰性氣體：氬氣為常用，但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中；這樣的話，氧氣、氮?dú)庑枰尤氲蕉栊試姙R氣體。

根據(jù)其特性，這個(gè)工藝要求低壓，但是工藝氣體流量需要足夠離子轟擊發(fā)生，否則不可能保持等離子。因此，工藝氣體必須精細(xì)控制，否則產(chǎn)品品質(zhì)以及同質(zhì)性的涂層將大打折扣。

由于比例電磁控制閥，布瑯鈳鍶特公司質(zhì)量流量控制器是這一應(yīng)用的理想選擇。可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)超快、平穩(wěn)控制，優(yōu)化的穩(wěn)定性和重復(fù)性。