什么是熱式質(zhì)量流量計(jì)？
熱式質(zhì)量流量計(jì)通常用于測(cè)量小流量氣體，究竟是一個(gè)什么樣的東西？與其他氣體流量計(jì)相比有什么不同？傳感器有什么區(qū)別？有什么優(yōu)勢(shì)和劣勢(shì)？我們一起來(lái)探討一下。
質(zhì)量流量VS體積流量測(cè)量許多研究和生產(chǎn)過(guò)程中，重要的變量是質(zhì)量而非體積。由于溫度或壓力變化會(huì)對(duì)固定體積氣體密度產(chǎn)生影響，體積流量測(cè)量不如質(zhì)量流量測(cè)量可靠。 |
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與轉(zhuǎn)子流量計(jì)（可變面積流量計(jì)）或渦輪流量計(jì)等體積流量測(cè)量裝置不同，熱式質(zhì)量流量計(jì)不受入口流量的溫度和壓力波動(dòng)影響。質(zhì)量流量計(jì)可直接測(cè)量質(zhì)量流量。大多數(shù)其他方法測(cè)量體積流量需要單獨(dú)測(cè)量溫度和壓力，以計(jì)算密度，最終計(jì)算質(zhì)量流量。
質(zhì)量流量計(jì)在分子水平上測(cè)量流量，因而可提供高精準(zhǔn)、高重復(fù)性和可靠的氣體輸送到過(guò)程中。 |
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熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理的優(yōu)勢(shì)熱式質(zhì)量流量計(jì)是目前測(cè)定小流量氣體常用的儀表。自從20世紀(jì)70年代中期推行以來(lái)，儀表經(jīng)歷了相當(dāng)大的發(fā)展，從模擬量到數(shù)字，從小流量到大流量，從實(shí)驗(yàn)室和裝備應(yīng)用到工業(yè)環(huán)境甚至危險(xiǎn)區(qū)域應(yīng)用。幾乎所有小流量氣體應(yīng)用都有合適的熱式質(zhì)量流量計(jì)。用于小流量氣體測(cè)量應(yīng)用的其他測(cè)量原理包括科里奧利流量測(cè)量和差壓測(cè)量。 |
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科里奧利流量測(cè)量科里奧利質(zhì)量流量計(jì)具有優(yōu)勢(shì)，尤其是在測(cè)量超臨界氣體以及用戶想要測(cè)量變化的或者未知的混合氣體時(shí)。 差壓測(cè)量差壓測(cè)量原理通過(guò)計(jì)算將測(cè)得的差壓轉(zhuǎn)換成質(zhì)量流量，包括氣體溫度以及所用氣體的密度和動(dòng)態(tài)粘度。相比之下，熱式傳感器不易受到工藝中壓力變化的影響，熱式流量測(cè)量中其他氣體的轉(zhuǎn)換本質(zhì)上更準(zhǔn)確。 |
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熱式傳感器之間的差異熱式質(zhì)量流量計(jì)和熱式質(zhì)量流量傳感器利用流體的導(dǎo)熱性。熱式流量計(jì)有不同的傳感器：
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每種技術(shù)都有其優(yōu)缺點(diǎn)，具體針對(duì)應(yīng)用的有：潔凈干燥氣體應(yīng)用，要求高精度和高重復(fù)性，對(duì)于旁路儀表（例如El-Flow Select 系列和EL-FLOW Prestige系列）可能是比較適合的。
對(duì)于使用稍微潮濕的氣體或者精度較低但要求高重復(fù)性和穩(wěn)健性的應(yīng)用，更適合使用帶有直通式傳感器和直通流道的流量計(jì)（例如MASS-STREAM系列）。 也有使用芯片傳感器（MEMS、或CMOS）的熱式質(zhì)量流量計(jì)，氣流在該傳感器處與傳感器接觸。 |
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| 更快的測(cè)量信號(hào)的優(yōu)勢(shì)常被以下事實(shí)抵消：此類傳感器不太堅(jiān)固，通常不適合用于腐蝕性或爆炸性氣體。此外，流量計(jì)需要根據(jù)實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)（例如IQ+FLOW系列）。 | |
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熱式質(zhì)量流量控制器熱式質(zhì)量流量控制器事實(shí)上就是流量計(jì)組合集成或外接控制閥。此類緊湊儀表用于必須精準(zhǔn)控制氣體的應(yīng)用。 質(zhì)量流量控制器持續(xù)將輸出信號(hào)與來(lái)自電壓、電流或數(shù)字（現(xiàn)場(chǎng)總線）源的設(shè)定點(diǎn)信號(hào)進(jìn)行比較。設(shè)定點(diǎn)信號(hào)和測(cè)量信號(hào)之間的任何偏差都會(huì)轉(zhuǎn)化為電磁控制閥調(diào)整，直到兩個(gè)信號(hào)完全相同。 控制功能（PID，比例積分導(dǎo)數(shù)）通常是流量計(jì)電子設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)部分，同時(shí)可以通過(guò)用戶軟件調(diào)整控制特性，以實(shí)現(xiàn)快速或平穩(wěn)的控制。根據(jù)應(yīng)用，您可選擇比例電磁控制閥，用于高或低（差壓）壓力和小到大流量。 |
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熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的更多智能化通過(guò)集成額外的智能，熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器技術(shù)仍在不斷改進(jìn)。多氣體/多量程或診斷等功能不再例外。 |
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Bronkhorst EL-FLOW Prestige系列具有包含約100種氣體物理性質(zhì)的氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，儀表可自動(dòng)補(bǔ)償進(jìn)口壓力變化。
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