層流元件：流量計(jì)核心部件
| Bronkhorst 40多年來(lái)一直與供應(yīng)商密切合作，以期確保和優(yōu)化Bronkhorst流量計(jì)的質(zhì)量。與當(dāng)?shù)毓?yīng)商合作對(duì)Bronkhorst非常重要。 除了溝通交流、良好的交付可靠性和聯(lián)合創(chuàng)新實(shí)力，Bronkhorst還為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)做出了貢獻(xiàn)。其中一家公司是Veco Precision?。
Bronkhorst與 Veco Precision一起致力開(kāi)發(fā)Bronkhorst核心部件之一：層流元件。層流元件是Bronkhorst流量計(jì)的機(jī)械心臟。為什么說(shuō)層流元件是流量計(jì)的關(guān)鍵部件呢？ 熱式質(zhì)量流量計(jì)熱式質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，采用加熱元件和溫度傳感器的組合，使用熱力學(xué)原理推導(dǎo)實(shí)際流量。溫度、壓力或密度變化需要少量校正并且很準(zhǔn)確，尤其是在測(cè)量小流量時(shí)。 |
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層流元件-核心部件圖1 所示層流元件是基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計(jì)的核心部件。層流元件(LFE)的功能是產(chǎn)生分流。對(duì)于基于旁路原理的熱式質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量在主流道的旁路中測(cè)量。由于LFE的特定尺寸，可以產(chǎn)生與毛細(xì)傳感器管相同的線性壓力/流量特性。 Veco Precision 蝕刻的薄堆疊板用于創(chuàng)建層流元件，可測(cè)量非常小到中等大小流量(< 1 mln/min 到20 ln/min)。旁路是內(nèi)徑0.2mm的毛細(xì)管，可滿足快速響應(yīng)和低耗能要求，因?yàn)橹恍枰訜嵋恍〔糠止艿馈?/p> |
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化學(xué)蝕刻金屬零部件工藝為了創(chuàng)造行業(yè)產(chǎn)品，制造商須實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型化，從而實(shí)現(xiàn)組件的小型化。對(duì)于層流元件中的流盤，我們采用了化學(xué)蝕刻工藝，這是一種微精密零件的制造方法。 化學(xué)蝕刻化學(xué)蝕刻（也稱光化學(xué)加工和化學(xué)銑削）既快速又經(jīng)濟(jì)，精度也很高。無(wú)需高昂的工具或機(jī)械，即可生產(chǎn)復(fù)雜、多層次、多功能、高精度的零件。相較“傳統(tǒng)”機(jī)器工藝（如CNC加工、沖壓、金屬絲腐蝕）以及“更現(xiàn)代”的工藝（如激光切割和電化學(xué)加工），化學(xué)蝕刻具有靈活性和可擴(kuò)展性，提供了從原型機(jī)到大規(guī)模生產(chǎn)的具有競(jìng)爭(zhēng)力的替代方案?？焖僭涂稍趲滋靸?nèi)根據(jù)圖紙生產(chǎn)出來(lái)。 |
主要優(yōu)勢(shì)
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氣體流量測(cè)量流量測(cè)量同溫度、壓力和液位測(cè)量一樣被視為“需要知道”的工藝參數(shù)之一。準(zhǔn)確的氣體質(zhì)量流量測(cè)量對(duì)于許多工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室過(guò)程的操作和控制至關(guān)重要。 |
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EL-FLOW Prestige質(zhì)量流量計(jì)EL-FLOW Prestige?氣體熱式質(zhì)量流量計(jì)是下一代Bronkhorst氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器。幾乎所有的核心部件都經(jīng)過(guò)了重新設(shè)計(jì)，升級(jí)和改進(jìn)。Bronkhorst在該系列引入了“溫差平衡”技術(shù)，確保良好的傳感器穩(wěn)定性。 |
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