流量控制 | MOCVD

2023年2月22日 Bronkhorst

穩(wěn)定精準流量控制

Bronkhorst質(zhì)量流量控制器在MOCVD工藝制造LED的過程中起著重要作用。穩(wěn)定精準的氫氣氣體流量控制可提高MOVCVD工藝條件從而提高LED產(chǎn)品質(zhì)量。

MOCVD是LED生產(chǎn)制造過程中的一個步驟。在MOCVD工藝流程中，載氣將一種或多種氣態(tài)金屬有機化合物引導(dǎo)至晶片?；衔锓纸獠⒃诰铣练e很薄的晶體層，從而制成紅色、綠色或藍色發(fā)光LED。沉積的材料類型-通常是某種氮化物-決定了要發(fā)光的顏色。

一家大型電視屏幕微型LED制造商使用MOCVD，氫氣作為載氣。Bronkhorst臺灣公司為其提供可靠、穩(wěn)定的解決方案來供應(yīng)載氣。

客戶要求對載氣氫氣供應(yīng)進行更準確的流量控制，以改進MOCVD工藝，從而提高LED的質(zhì)量。需要穩(wěn)定的流量條件和流量控制器對設(shè)置改變進行快速響應(yīng)。

為了提高MOCVD工藝的質(zhì)量，從而提高LED質(zhì)量，Bronkhorst臺灣公司提供了多個EL-FLOW Metal Sealed?質(zhì)量流量控制器用作AIXTRON G3/G4代MOCVD設(shè)備的標準元件。

使用這些流量控制器的目的是控制氫載氣流量。穩(wěn)定的載氣流量是整個工藝質(zhì)量的關(guān)鍵，因為其流量決定了LED組件的沉積速率。

Bronkhorst質(zhì)量流量控制器提供大量氣體用于填充MOCVD反應(yīng)器設(shè)備的腔室。使用了幾種不同的類型：典型氣體流量為20 ml/min的小流量EL-FLOW質(zhì)量流量控制器到流量為20 l/min的大流量EL-FLOW質(zhì)量流量控制器。

EL-FLOW Metal Sealed質(zhì)量流量控制器的一大優(yōu)勢是擁有良好的金屬對金屬密封能力。其高質(zhì)量的表面也使其適合半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)的嚴格要求。此應(yīng)用中還用到了EL-PRESS Metal Sealed 壓力控制器。

應(yīng)用中使用此類裝置可實現(xiàn)穩(wěn)定的氫氣氣體流量，并可對工藝條件的變化做出快速響應(yīng)。工藝流程的改進可降低成本并減少庫存項目。

Bronkhorst臺灣公司服務(wù)部已成立10多年，對裝置進行校準和維修。服務(wù)團隊還會現(xiàn)場拜訪客戶，提供如何使用流量儀表以及如何改進工藝流程的建議。

該項目服務(wù)團隊通過調(diào)整質(zhì)量流量裝置的PID設(shè)置來微調(diào)過程，以在MOCVD系統(tǒng)中獲得更好的控制性能。

Back to overview