優(yōu)化流量控制 | 實時壓力和溫度補償

2024年10月23日 Bronkhorst

各種外部因素會影響質(zhì)量流量控制器的測量精度和控制穩(wěn)定性。壓力和溫度控制中常見的挑戰(zhàn)是什么？如何解決呢？

實時壓力和溫度補償是解決方法之一。工藝過程的效率和產(chǎn)量需要穩(wěn)定的氣體流量。氣體流量可通過熱式質(zhì)量流量控制器進行測量和控制。

溫度和壓力補償?shù)奶魬?zhàn)

外部因素包括：

溫度波動
壓力波動

波動可能由于氣瓶中的壓力降低或多個流量控制器之間的串擾而發(fā)生。Bronkhorst如何解決此類問題？有什么解決方案嗎？

質(zhì)量流量控制器串擾

什么是串擾？串擾通常出現(xiàn)于多個質(zhì)量流量控制器緊挨放置在同一管道中，或安裝在同一導軌或框架上的情況。氣體調(diào)節(jié)器的管路壓力受流量控制器的流量需求影響。當流量儀表改變其設(shè)定值，管路壓力會受影響。由于壓力變化，傳統(tǒng)流量控制器的流量測量部分受到影響，表明流量測量不正確，不能顯示通過MFC的實際流量。

流量控制器的標稱流量越小，對較大、并聯(lián)安裝的MFC的設(shè)定值變化影響越大。

靜態(tài)壓力補償和動態(tài)壓力補償有什么區(qū)別？

靜態(tài)壓力補償是對緩慢壓力變化的補償，例如氣缸壓力的緩慢降低。通過集成壓力變送器到質(zhì)量流量控制器上，結(jié)合轉(zhuǎn)換算法，可實時計算實際流體物性。熱傳導測量計算中使用了密度、粘度、熱導率和熱容。在壓力和溫度的影響下，此類物性會發(fā)生變化。因而可測量和處理實際溫度和壓力，實現(xiàn)準確的流量測量和穩(wěn)定的流量控制。