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應(yīng)用案例?

鋰電池負(fù)極制造 | 流量控制器

在鋰電池硅/碳負(fù)極的制造過(guò)程中，Bronkhorst熱式氣體質(zhì)量流量控制器控制氣體原材料供應(yīng)，助力優(yōu)化電池壽命和容量。
鋰電池就在我們身邊：智能手機(jī)、平板電腦，以及電動(dòng)汽車(chē)和電動(dòng)自行車(chē)等。負(fù)極和陰極，以及所用材料，在很大程度上決定了電池的容量。石墨形式的碳一直是鋰電池的主力負(fù)極材料。

然而，與碳相比，可用于更多鋰離子的硅正逐漸嶄露頭角。硅負(fù)極在充電或放電時(shí)膨脹和收縮比石墨更脆弱。為了結(jié)合兩種材料的良好性能，作為負(fù)極材料的硅/碳復(fù)合材料備受關(guān)注，并且正在開(kāi)發(fā)中。Bronkhorst儀表應(yīng)用于中國(guó)佛山負(fù)極制造商的硅/碳復(fù)合負(fù)極制造過(guò)程中。

應(yīng)用要求

用于硅/碳復(fù)合負(fù)極制造的化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝需對(duì)前驅(qū)體供應(yīng)進(jìn)行優(yōu)化控制。特別需對(duì)硅烷前驅(qū)體進(jìn)行準(zhǔn)確的流量控制，滿量程精度通常為1%。準(zhǔn)確性隨時(shí)間推移需保持，因此可重復(fù)性也很重要。需特別注意硅烷的高反應(yīng)性。

重要議題

  • 更好地控制CVD工藝，工藝更可靠
  • 高精度和可重復(fù)性，尤其是硅前驅(qū)體硅烷流量
  • 易于放大，靈活性高

工藝方案

在硅/碳復(fù)合負(fù)極制造的CVD工藝中，硅烷 (SiH4), 氮?dú)?(N2) 和乙炔 (C2H2)等氣態(tài)化合物被供應(yīng)到加熱的反應(yīng)器中，與固體硅和碳化合物反應(yīng)，化合物作為復(fù)合材料沉積在多孔碳基材中。Bronkhorst EL-FLOW熱式質(zhì)量流量控制器用于該前驅(qū)體供應(yīng)，經(jīng)校準(zhǔn)以適應(yīng)前驅(qū)體類(lèi)型和流量范圍。

準(zhǔn)確性是控制CVD過(guò)程的重要條件。EL-FLOW系列基于熱式原理允許準(zhǔn)確供應(yīng)前驅(qū)體，特別是作為主要前驅(qū)體的硅烷。前驅(qū)體的熱性能與其質(zhì)量之間存在直接關(guān)系。方案優(yōu)勢(shì)是質(zhì)量流量受到控制，不受溫度或壓力變化等工藝條件波動(dòng)影響。
Bronkhorst在使用硅烷作為前驅(qū)體方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，例如在光伏（太陽(yáng)能電池）市場(chǎng)。由于它具有高度反應(yīng)性且易燃，EL-FLOW質(zhì)量流量控制器可安全處理此類(lèi)有害化合物。例如，如果高反應(yīng)性硅烷源受到少量水和空氣的污染，則硅烷流中會(huì)形成微小的二氧化硅(SiO2)顆粒?？墒褂眠^(guò)濾器等措施防止質(zhì)量流量控制器的內(nèi)部堵塞。Bronkhorst儀表具有良好的泄漏完整性可防止空氣(O2)從外部泄漏到硅烷流中。

由于精度是該應(yīng)用的關(guān)鍵，因此基于熱式原理的Bronkhorst EL-FLOW 儀表用于前驅(qū)體質(zhì)量供應(yīng)優(yōu)于差壓流量控制。后者的精度受零點(diǎn)漂移影響，尤其是當(dāng)傳感器內(nèi)部產(chǎn)生粉末顆粒時(shí)。

如果您需要更堅(jiān)固的質(zhì)量流量控制器用于此應(yīng)用，還可使用采用類(lèi)似熱式流量控制原理的MASS-STREAM儀表，精度為滿量程的1%。