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玻璃涂層工藝與流量測控

2021年8月19日 Bronkhorst

玻璃涂層在于修改其光學(xué)特性,提升其太陽能傳遞特征或者改變其外觀。無論是能量控制或者只是建筑要求,玻璃涂層工藝要求嚴(yán)格。
 

為達到薄膜涂層優(yōu)化品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),工藝氣系統(tǒng)必須能夠提供高品質(zhì)的涂層一致性。當(dāng)大規(guī)模的涂層設(shè)備在使用,維護的簡單化也是一個重要的關(guān)注點。布瑯鈳鍶特公司完全理解玻璃涂層工業(yè)的需求,因此開發(fā)了成熟的方案用以滿足大規(guī)模玻璃涂層應(yīng)用的高端要求。

玻璃涂層工藝與流量測控

應(yīng)用要求

高品質(zhì)的涂層一致性、高效、低成本是玻璃涂層行業(yè)的其中幾項要求。通過控制具體工藝氣體,薄膜的一致性得以改善。另外,如果控制是通過可以獲得穩(wěn)定流形的儀表完成的,重復(fù)性、快速響應(yīng)以及優(yōu)化性能就可以達到。

為了降低成本,儀表應(yīng)當(dāng)可靠、耐用,24小時/7天不間斷工作。

重要議題

  • 重復(fù)性
  • 響應(yīng)時間
  • 可靠性
  • 緊湊型,節(jié)省空間

工藝方案

通過精準(zhǔn)氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積(PVD)工藝,其在高壓加速下將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過程。它的作用是可以使某些有特殊性能(強度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的母體上,使得母體具有更好的性能。

噴濺的原子被推進到母體上,在其表面形成薄膜涂層。

這個工藝要求使用惰性氣體:氬氣為常用,但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中;這樣的話,氧氣、氮氣需要加入到惰性噴濺氣體。

根據(jù)其特性,這個工藝要求低壓,但是工藝氣體流量需要足夠離子轟擊發(fā)生,否則不可能保持等離子。因此,工藝氣體必須精細(xì)控制,否則產(chǎn)品品質(zhì)以及同質(zhì)性的涂層將大打折扣。

由于比例電磁控制閥,布瑯鈳鍶特公司質(zhì)量流量控制器是這一應(yīng)用的理想選擇??梢酝瑫r實現(xiàn)超快、平穩(wěn)控制,優(yōu)化的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

玻璃涂層工藝與流量測控工藝方案

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