應用要求

每臺光伏太陽能電池制造機總共由10個真空處理室組成，利用幾十個質量流量控制器來供應氣體、液體和蒸汽。對于該應用，流量設備必須準確地提供500或1000sccm（或任何期望值），且必須日復一日地發(fā)生。因此重復性和準確性同樣重要。

重要議題

• 準確供應氣體、液體和蒸汽
• 重復性
• 單臺質量流量控制器可用于多種氣體

工藝方案

Bronkhorst交付的質量流量控制器用于準確和重復性的氣體、蒸汽和液體供應。通常選擇Bronkhorst EL-FLOW Select熱式質量流量控制器用于供氣。就液體而言，在等離子體增強化學氣相沉積（PE-CVD）過程中，大多數(shù)液體通過CEM（控制蒸發(fā)與混合）系統(tǒng)蒸發(fā)為蒸汽，以便在基底表面發(fā)生反應。

CEM系統(tǒng)由（熱式或科氏）液體流量控制器（LIQUI-FLOW 或 mini CORI-FLOW) 、載氣質量流量控制器(例如 EL-FLOW Select)和溫度受控的混合蒸發(fā)裝置組成。

Bronkhorst流量裝置用于傳統(tǒng)硅基太陽能電池的晶體硅片應用層，以及在柔性基板上制造作為第二代非晶硅基薄膜太陽能電池組件的薄層。

讓我們通過一個例子-如何將“p-n結”沉積在柔性基材上的-來更深入地探討這個過程，柔性基材是光伏（PV）太陽能電池將太陽光轉換成電子的重要部分。在不同的工藝室中，兩層不同參雜劑的硅層必須相互重疊。在這種情況下，工藝介質是帶有微量氣體的硅烷(SiH4)和氫(H2)，其中n參雜層為磷化氫(PH3)，p參雜層為二硼烷(B2H6)。添加氣態(tài)NF3以便使用等離子體清潔沉積步驟之間的真空處理室。

EL-FLOW Select 熱式質量流量計的一大特點是，其可為不同的氣體提供多個(~5)校準曲線，優(yōu)點是每臺質量流量控制器都適用于具有一定可比性的多種氣體，因而數(shù)量相對較少。該流量計的有效使用可降低成本。

這些裝置也適用于使用真空技術的相近應用領域，例如半導體工業(yè)，以及用于顯示和照明的發(fā)光二極管(LEDs)制造。