此應(yīng)用案例主角是一家半導(dǎo)體公司。他們使用先進技術(shù)在硅晶圓片上制造芯片，應(yīng)用于不同的應(yīng)用和設(shè)備，如電信、游戲、工業(yè)等。工廠遍布各地。目前技術(shù)要求在生產(chǎn)過程中對氣體進行更好的流量控制，以提高產(chǎn)量并降低這些氣體的使用成本。Bronkhorst與半導(dǎo)體工業(yè)卸載模塊和FOUP相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商合作，他們的設(shè)備是集成到每個半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的主要部件。卸載模塊是用于將硅片裝入半導(dǎo)體加工工具中的，清潔度是保證硅晶圓片生產(chǎn)高產(chǎn)量的一個重要因素。我們客戶的卸載模塊在亞洲各大半導(dǎo)體制造廠使用。

工藝方案

質(zhì)量流量控制器在該過程中的主要功能是監(jiān)測和控制超高純度(UHP) N2 (A)或清潔干燥空氣吹掃(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中清潔干燥空氣吹掃（B）更為常用，而新工廠使用UHP N2吹掃(A)。

為了在不增加不必要成本的情況下滿足FOUP卸載模塊的特定設(shè)計要求，我們當?shù)劁N售與服務(wù)團隊協(xié)助開發(fā)符合品質(zhì)與高精準要求的產(chǎn)品，以滿足FOUP設(shè)備商與半導(dǎo)體制造商的高標準。憑借40多年在質(zhì)量流量計和控制器的經(jīng)驗，我們能夠用一些標準系列產(chǎn)品（基于CTA原理的MASS-STREAM流量控制器或是基于毛細管旁路原理的EL-FLOW）為客戶提供定制化的解決方案。產(chǎn)品為獨立單元配置。

Bronkhorst亞太區(qū)OEM銷售經(jīng)理Sia Wilson先生這樣說：我們很高興有機會與客戶討論并密切合作開發(fā)所需的產(chǎn)品。在此過程中，雙方都了解了技術(shù)和要求，最終使我們能夠為該應(yīng)用創(chuàng)造出具有成本效益的高品質(zhì)和功能良好的
產(chǎn)品。這是Bronkhorst與我們客戶之間真正的合作伙伴關(guān)系。