Application note A002-ST04
玻璃涂層工藝與流量測控
| 玻璃涂層在于修改其光學(xué)特性，提升其太陽能傳遞特征或者改變其外觀。無論是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂層工藝要求嚴(yán)格。 |
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為達(dá)到薄膜涂層優(yōu)化品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，工藝氣系統(tǒng)須能提供高品質(zhì)的涂層一致性。大規(guī)模涂層設(shè)備使用中如何簡化維護(hù)也是重要的關(guān)注點。Bronkhorst了解玻璃涂層工業(yè)的需求，開發(fā)了成熟的方案用以滿足大規(guī)模玻璃涂層應(yīng)用的要求。 |
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應(yīng)用要求
高品質(zhì)涂層的一致性、高效、低成本是玻璃涂層行業(yè)的其中幾項要求。通過控制具體工藝氣體，改善薄膜一致性。另外，如果控制是通過可獲得穩(wěn)定流形的儀表完成，重復(fù)性、快速響應(yīng)以及優(yōu)化性能就可達(dá)成。
為了降低成本，儀表應(yīng)當(dāng)可靠、耐用，24小時/7天不間斷工作。 |
重要議題
- 重復(fù)性
- 響應(yīng)時間
- 可靠性
- 緊湊型，節(jié)省空間
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工藝方案
通過準(zhǔn)確氣體噴濺獲得一致性的涂層是一種物理氣相沉積（PVD）工藝，其在高壓加速下將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能（強(qiáng)度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等）的微粒噴涂在性能較低的母體上，使母體具有更好的性能。
噴濺的原子被推進(jìn)到母體上，在其表面形成薄膜涂層。
工藝要求使用惰性氣體：常用氬氣，但是有些噴濺工藝采用氧化物或氮化物參與其中，這種情況下，惰性噴濺氣體需加入氧氣、氮氣。
根據(jù)其特性，該工藝要求低壓，但是工藝氣體流量需足夠離子轟擊發(fā)生，否則不可能保持等離子。因此，工藝氣體須精細(xì)控制，不然產(chǎn)品品質(zhì)以及同質(zhì)性的涂層將大打折扣。
帶比例電磁控制閥，Bronkhorst質(zhì)量流量控制器是這一應(yīng)用的理想選擇，可同時實現(xiàn)超快、平穩(wěn)控制，優(yōu)化穩(wěn)定性和重復(fù)性。 |
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