Application note?
穩(wěn)定快速的真空沉積氣體流量控制
反應(yīng)濺射真空沉積
質(zhì)量流量控制器用于真空沉積設(shè)備，用于向過程供應(yīng)氣體時確保以可控和準確的方式完成。理想狀態(tài)是儀表可快速響應(yīng)并在幾毫秒內(nèi)達到設(shè)定值。FLEXI-FLOW Compact可幫助此類需求用戶。
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應(yīng)用要求快速流量控制在真空沉積技術(shù)中很重要。每一秒都節(jié)省時間和能源，提高沉積設(shè)備的效率。氣體流量需要以可重復(fù)的方式以較大的動態(tài)流量范圍提供，并具有長期穩(wěn)定性，以確保質(zhì)量。 |
重要議題
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工藝方案FLEXI-FLOW Compact 質(zhì)量流量控制器的響應(yīng)時間達到150毫秒，無超調(diào)，可以滿足真空涂層客戶需要多通道流量解決方案，提供穩(wěn)定快速流量控制和關(guān)閉功能的要求。 快速響應(yīng)流量控制真空沉積設(shè)備的用戶需要響應(yīng)快速的氣體供應(yīng)系統(tǒng)。其優(yōu)化壓力和氣體流量等工藝條件，并在涂層過程中測量涂層厚度來監(jiān)測結(jié)果。在此過程中，應(yīng)保持穩(wěn)定、受控的氣流，以保持涂層的正確厚度和成分。 |
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| 當濺射系統(tǒng)監(jiān)測到厚度或透明度出現(xiàn)偏差時，會通過調(diào)整氣體流量來糾正沉積過程。因此，需要非?？斓牧髁靠刂?，響應(yīng)時間150毫秒。
FLEXI-FLOW質(zhì)量流量控制器可以做到。如果入口壓力發(fā)生變化，氣體流量控制器以盡可能快的速度響應(yīng)將流量保持在設(shè)定值。當反應(yīng)室發(fā)生變化，流量控制器接收到新的設(shè)定值。對新的設(shè)定值的快速響應(yīng)可以減少浪費和不合格產(chǎn)品。 |
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關(guān)閉功能可集成切斷閥，以減少真空階段真空室的泄漏，尤其適用于超高真空反應(yīng)器。 大動態(tài)量程大動態(tài)量程和1:1000大動態(tài)量程比減少了所需的型號和備件數(shù)量，并提高了真空沉積設(shè)備的靈活性。 通信接口緊湊型多通道解決方案利用Ethernet, EtherCAT 和 Profinet等工業(yè)協(xié)議可通過網(wǎng)關(guān)選擇接口。數(shù)據(jù)可用于預(yù)測性維護。 |
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