EL-FLOW 金屬密封

高純度氣體應(yīng)用

Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn)，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量計(jì)和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。

• 最小流量范圍：0.12…6 ml_n/min
• 最大流量范圍： 1… 50 l_n/min

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EL-FLOW^? 產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，為客戶（OEM）提供可選的靈活性以及高效率工藝。為方便客戶使用，Bronkhorst提供免費(fèi)且便于操作的配置軟件。

特點(diǎn)

• 高準(zhǔn)確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)
• 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無(wú)密封圈）
• 電拋光過(guò)流部件
• 無(wú)塵組裝
• 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能
• 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接：
  DeviceNet?, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT^??或者 FLOW-BUS
• 無(wú)零飄（不需要零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整電路）
• 高精度、重復(fù)性高

更多資料

產(chǎn)品樣冊(cè)
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

使用說(shuō)明書(shū)
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)
快速安裝指南 EL-FLOW Select
使用說(shuō)明書(shū) EL-FLOW Select

安裝圖
Analog IO – RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus
Optional Bus and IO Configurations
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen