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FLEXI-FLOW氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器

FLEXI-Flow質(zhì)量流量壓力計(jì)/控制器新型質(zhì)量流量測量和控制

FLEXI-FLOW?系列將快速穩(wěn)定的芯片傳感器與可靠準(zhǔn)確的旁路技術(shù)相結(jié)合。緊湊創(chuàng)新型儀表是質(zhì)量流量測量和控制領(lǐng)域的一次重大飛躍:質(zhì)量流量測控 #重新定義

  • 多參數(shù)測量:流量、溫度和壓力集于一表
  • 通過藍(lán)牙和App實(shí)現(xiàn)簡單安全的連接
  • 通過集成氣體數(shù)據(jù)庫和實(shí)時轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)更高的精度
  • NAMUR狀態(tài)指示隨時掌握流程動態(tài)
  • 寬量程比,適用多種應(yīng)用

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FLEXI-FLOW? Compact?系列包含:

  • ‘Built-to-Order (BtO)’質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和控制器(MFC),量程范圍 0…5 mln/min 到 0…20 ln/min,量程比1:1000,包含多達(dá)8通道的多通道版本。
  • ‘Preconfigured Advanced (PA)’ MFCs 8種量程范圍 (FS):5/20/50/200 mln/min 和 0.5/2/5/20 ln/min (N2 當(dāng)量),量程比 1:500,流量 + 溫度 + 壓力
  • ‘Preconfigured Standard (PS)’ MFCs 4種量程范圍(FS):0.5/2/5/20 ln/min (N2 當(dāng)量) ,量程比 1:50,流量 + 溫度

FF-M1x氣體質(zhì)量流量計(jì)

FF-M1x

  • 最小流量0…500 mln/min
  • 最大流量 0…20 ln/min
  • 壓力等級 16 bar(g)
  • 多參數(shù)(壓力+溫度輸出可選)
  • 快速響應(yīng) (TCS 技術(shù))
FF-C1x緊湊型氣體質(zhì)量流量控制器

FF-C1x

  • 最小流量 0…500 mln/min
  • 最大流量 0…20 ln/min
  • 壓力等級16 bar(g)
  • 多參數(shù)(壓力+溫度輸出)
  • 快速響應(yīng)(TCS技術(shù))