IQ+FLOW

基于MEMS技術(shù) — 壓力計/控制器

設備制造商們尋求緊湊的解決方案來監(jiān)測或控制其系統(tǒng)中的氣體流量或壓力。用于分析、生物技術(shù)和醫(yī)療市場的臺式設備需盡量小尺寸，以節(jié)省空間。

Bronkhorst與TNO-TPD（應用物理研究所|荷蘭）密切合作，開發(fā)了IQ⁺FLOW^??氣體質(zhì)量流量傳感器，并設計了微型壓力傳感器和不銹鋼微型閥。得益于MEMS技術(shù)，IQ⁺FLOW小流量氣體和壓力測量控制儀表尺寸大大縮小，為20 x 40 mm。IQ⁺FLOW壓力計和控制器可選配介質(zhì)隔離傳感器，以兼容各種流體。

• 最小范圍 0.01…0.5 bar 絕壓或表壓
• 最大范圍 0.2…10 bar 絕壓或表壓

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客戶定制化設計

基于 IQ⁺FLOW^??系列的微系統(tǒng)技術(shù)，Bronkhorst可提供緊湊型模塊上組合功能模塊的可能性。

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產(chǎn)品樣冊
IQ-FLOW Brochure

使用說明書
Manual IQ-FLOW (from 01-07-2013)
Manual IQ-FLOW (till 01-07-2013)
Quick installation guide
使用說明書 IQ-FLOW
快速安裝指南 ?IQ-FLOW