熱式質(zhì)量流量測量原理

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器是利用流體（氣體或者液體）導(dǎo)熱系數(shù)來確定質(zhì)量流量的。

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氣體 — 旁路原理

圖A所示是氣體蒸汽流通過傳感器的流程圖，該蒸汽是通過R_HT1?和R_HT2?加熱的而形成的。從圖B我們可以看到被測量的溫度T1和T2的結(jié)果是截然相反的。兩部分的溫度與通過傳感器的氣體質(zhì)量流量存在直接的比例關(guān)系。從電力學(xué)的角度來分析，溫度T1和溫度T2事實(shí)上是依賴于R_HT1?和 R_HT2電阻的溫度。

圖A顯示了傳感器的信號是怎么被測試到，并且將測試的結(jié)果放大轉(zhuǎn)化成電信信號。傳感器作為一個(gè)旁道被安裝在主管道上，其中一個(gè)流動(dòng)阻力分配器根據(jù)不同的工業(yè)環(huán)境以及條件來負(fù)責(zé)分配不同比例的流量。這層流量部件包含著一疊擁有高精細(xì)層流不銹鋼碟片，該碟片擁有與流量傳感器相類似的特征。

氣體 — 直接測量原理

直連式傳感器的質(zhì)量流量計(jì)在其直流通道中擁有兩個(gè)伸出的不銹鋼探頭，一個(gè)是加熱器探頭、一個(gè)是溫度傳感器探頭。這兩個(gè)探頭中間產(chǎn)生了一個(gè)恒溫（ΔT），維持這個(gè)恒溫所需要的能量與該質(zhì)量流量率是成比例。通過這一基原理，質(zhì)量流量可以在低壓降的情況下被測量到，主要由調(diào)解流量所鑲嵌的氣體配件以及紗網(wǎng)所引起的（具體請見圖表C)。與傳統(tǒng)的旁道熱式質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器相比，該以恒溫風(fēng)速儀直接測量結(jié)構(gòu)原理為基礎(chǔ)的儀表的測量精度幾乎不受濕度以及污染物的影響。

液體

LIQUI-FLOW™ 系列的液體流量計(jì)是圍繞在沒有任何移動(dòng)部件或者說障礙物的不銹鋼管道上建立起來的。加熱器/傳感器也是依據(jù)風(fēng)速儀的原理被安裝在該管道周圍，從而使其產(chǎn)生了一個(gè)恒溫差，其所需要用來維持該溫差的能量是依靠其質(zhì)量流量率的。由于其傳感器的優(yōu)點(diǎn)，該流量將會(huì)被加溫到最高5°C，從而使LIQUI-FLOW™ 系列產(chǎn)品適合于底熱點(diǎn)流體。