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熱式質(zhì)量流量測量工作原理

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器利用流體(包括氣體和液體)的熱導(dǎo)率來確定質(zhì)量流量。與體積流量測量裝置例如吹掃儀表(可變面積-VA流量計(jì))或渦輪儀表不同,熱式質(zhì)量流量計(jì)(MFMs)和質(zhì)量流量控制器(MFCs)相對受流入介質(zhì)的溫度和壓力波動(dòng)影響較小。


熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器工作原理

熱式質(zhì)量流量計(jì)/控制器可提供質(zhì)量流量的直接測量,與大多數(shù)其他測量體積流量和需要單獨(dú)測量溫度和壓力來換算密度并最終計(jì)算質(zhì)量流量的原理不同。

質(zhì)量流量儀表實(shí)際在分子水平上測量和控制流量,可向工藝流程提供高準(zhǔn)確、可重復(fù)和可靠的氣體輸送。

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器可分為3種不同的傳感器原理:

  1. 氣體熱式質(zhì)量流量傳感器,使用旁路原理
  2. 氣體熱式質(zhì)量流量傳感器,使用直通/CTA原理
  3. 液體熱式質(zhì)量流量傳感器,使用直通/CTA/CPA原理